推 jeffdon2:感謝，那我就先試試加長曝光時間以及軟烤後等散熱久一點 09/17 17:16
※ 引述《SkyLark2001 ( )》之銘言：
: 標題: Re: [問題] JSR 151N曝光顯影後圖形表面變得粗糙
: 時間: Fri Sep 16 07:36:43 2011
:
: ※ 引述《jeffdon2 (kkk)》之銘言：
: : 最近在嘗試使用JSR 151N來定義流道圖形並且加熱接合的動作，可是曝光顯影後
: : 卻發現光阻的表面變成霧面，更詭異的是霧面的圖形是只有在被乳膠光罩覆蓋的區域
: : 出現，其他沒被光罩覆蓋但是有曝光的區域都沒有這情形，不知道有用過JSR 151N
: : 的人是否有相同的情形?
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: ◆ From: 128.95.165.23
: ※ 編輯: SkyLark2001 來自: 128.95.165.23 (09/16 07:37)
: 推 jeffdon2:SkyLark2001大可能弄錯我的意思了 09/16 09:31
: → jeffdon2:被乳膠光罩覆蓋的區域是指被覆蓋但是有透光的區域 09/16 09:32
: → jeffdon2:和沒被光罩覆蓋曝光的區域相比之下是霧面的情況 09/16 09:33
: → SkyLark2001:我大致懂你的意思，但我的疑問是，你的光罩比wafer還 09/16 16:18
: → SkyLark2001:小?不然怎麼會有所謂"沒被覆蓋但有曝光"的區域 09/16 16:19
: 推 jeffdon2:沒錯，就是光罩比wafer小 09/16 17:30
: → jeffdon2:結果發現光罩可透光區域下的光阻顯影後表面霧化 09/16 17:31
: → jeffdon2:但是其他沒被光罩蓋到而同樣有曝光的光阻卻是亮面的狀態 09/16 17:32
: 推 quaintness:4.乳膠光罩 光罩可透光區域用OM看應該會有小顆粒? 09/17 02:40
: 推 jeffdon2:這樣是表示乳膠光罩的品質不良，還是無法避免? 09/17 10:11
: → jeffdon2:重新做光罩有用嗎? 09/17 10:11
: → jeffdon2:因為要做熱接合的動作最好一開始兩面可以越平貼越好 09/17 10:13
: → jeffdon2:表面太粗糙會導致接合效果不良或加熱時間較長導致流道 09/17 10:15
: → jeffdon2:變形 09/17 10:15
q 兄講的不錯，台灣做網片光罩的公司不少，材質差異很大
有些軟有些硬，我還遇過有怎樣顯影都顯不成功，之後才發覺那家公司的網片
全新的使用前還要撕下一層保護膜，還有網片是兩面都有保護膜的
這些網片拿到顯微鏡下，墊在白紙上觀察，其實都會有小顆粒
但其實影響更大的，是所謂的透光率。
就玻璃光罩而言就有差別，請國外公司製作時，材質可以選quartz或是soda lime
quartz透光率最好， soda lime就差了點，但比較便宜。就學術上的製程而言，
品質影響不大，當然盡量選便宜的
網片的差異就會更大了
我工作的無塵室就有建議，使用mylar光罩時曝光時間要明顯增加，
比方說用soda lime光罩要60秒曝光的，使用mylar要70s.
因為這類軟光罩透光率不佳會影響到黃光結果的
所以原PO可以先增加曝光時間試試
另外還有其他原因可能是軟烤之後立刻放進曝光機並進行接觸式(真空吸附)的曝光及對準
尤其若是你的substrate散熱不佳的話，整個光阻都黏糊糊的，沾到了光罩上
也有這個可能
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◆ From: 24.17.240.42