[問題] SU-8 on glass

[alich (阿力取)]

不好意思> <

有製程上的問題想請教各位學長姊，

是關於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的貼附性的問題

今天去試做了，想用SU-8 2005做一個厚度5um的結構，

結果顯影出來好像SU-8剝離了?  整個pattern變的爛爛的QQ

想請問學長姊可能是哪裡出了錯，或是有什麼辦法改善這個問題呢?

我的process如下:

去水烘烤120度 10min

spin coating 500rpm 10sec
             4000rpm 30sec

soft bake 95度 2min

曝光40秒

PEB 95度 2min

顯影1min

謝謝你們:)

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.187.87
→ honna:表面不乾淨，附著差/顯影過度/曝光能量不足(check燈源功率)
推 oreoctrl:雖然不知道你曝光機是幾W的~但感覺5um 40s還是太多了
推 TreeMan:也可以試看看先spin HMDS
→ honna:HMDS對SU8沒有幫助喔，還可能會讓附著變弱
→ mcgradychung:我記得SU8的SOP有說明 要提高附著力要先SPM清洗過
→ mcgradychung:應該就是去除表面髒污並使表面氧化(類似氧電漿處理)
推 jam46:確認一下汞燈功率,40秒感覺有點多...玻璃表面可以先酸洗試試