→ honna:SU8的另一款光阻(GM系列)有建議製作前先用O2 plasma處理 12/13 10:04
→ honna:可以試試看~ 12/13 10:04
推 Jeffch:O2 plasma使用前後會有很大差別.... 12/13 14:42
推 DynaxBill:簽名檔很囧 ... 跟老師不夠熟嗎XD 01/08 10:39
※ 引述《alich (阿力取)》之銘言：
: 不好意思> <
: 有製程上的問題想請教各位學長姊，
: 是關於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的貼附性的問題
: 今天去試做了，想用SU-8 2005做一個厚度5um的結構，
: 結果顯影出來好像SU-8剝離了? 整個pattern變的爛爛的QQ
: 想請問學長姊可能是哪裡出了錯，或是有什麼辦法改善這個問題呢?
: 我的process如下:
: 去水烘烤120度 10min
: spin coating 500rpm 10sec
: 4000rpm 30sec
: soft bake 95度 2min
: 曝光40秒
: PEB 95度 2min
: 顯影1min
: 謝謝你們:)
如果所有製程參數都對了 (包括做在玻璃表面功率要 1.5倍)
那唯一的問題就是你的pattern structure太小了
structure太小時候在做薄膜SU-8會出現附著很差的現象
在develop的時候 SU-8都還沒被吃光pattern就開始脫落了
(structure太大 在做厚膜SU-8時候 會出現應力集中而導致的剝離
可以用ramp bake方式解決大部分情況)
使用HMDS效果有限
Microchem有出一款適合坐在玻璃表面的厚膜光阻 KMPR
我不確定在你實驗下是否有用
我的做法是 先做一層非常薄的SU-8在玻璃表面當作附著層
再開始pattern Su-8對SU-8本身附著能力夠強所以可行
但是就是不知道你是否能接受玻璃表面多一層SU-8在那裡
如果不行 你剩下KMPR可以踹了....
--
某天我接到ㄧ通從未看過的電話...0932xxxxxx
陌生人:你在哪裡(心中OS:好像是某同學)
我:研究室阿 衝殺洨
陌生人:麻煩到我班上 找xxx
我:喔...好....(遭...是老闆....Orz)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 128.97.11.107