推 Ice98:儀科中心和工研院都有, 不過都不收破片 01/05 23:25
推 s75287:台大? 01/07 07:47
請問
有人知道可以用ICP做 深蝕刻wafer的公司嗎
大概是 直徑 30~100um 不等的圓形pattern
然後 用ICP (bosch process) 下去蝕刻100um~300um 不等
wafer 整類為 4吋 如果可以進破片(貼在載片上)更好
ps 除了 NDL以外的公司
感謝
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