→ jamesII:烤太久乾掉? GOOGLE是115C 60S try 105C 120s for liftoff 02/27 18:29
推 SkyLark2001:可放進硫酸加雙氧水中，短時間(數分鐘)內不會對你的金 02/27 20:39
→ SkyLark2001:有顯著影響。或是使用專門溶正光阻的熔劑比方EKC830 02/27 20:40
→ SkyLark2001:加熱使用效果極佳 02/27 20:41
→ capsss:謝謝樓上二位 但是因為我的結構中有SiO2 不大適合放硫酸加 02/27 22:31
→ capsss:雙氧水 另外如果不烤這麼乾我好像曝光的時後 光罩一壓上去 02/27 22:31
→ capsss:繞射條紋就變很多 因位我還要第二道同樣圖形對準 02/27 22:32
→ capsss:我怕在Wafer下面墊上濾紙會使得對準不準 02/27 22:33
推 Colula:加熱丙酮煮沸5min +UV Ozone 120C 20min, 一定乾淨 03/22 00:25