推 pttresident:AZ5214E是方便可當正、負光阻用 04/11 14:27
→ pttresident:除非你是需要負光阻邊緣的倒傾角特性 04/11 14:28
→ pttresident:不然lift-off還是像下篇回文說的，用正光阻做較常見 04/11 14:29
因為製程需要，需要用到負光阻作為擋層，
所以之後要去掉(容易去掉的，不是作模的)，請問有沒有什麼適合的負光阻，
我有查到可以使用AZ5214作反轉烤，
但是因為時間緊迫，問了景明，沒想到要十週才能來(吐血)
想請問有沒有哪家實驗室有AZ 5214，可以跟你們買，
或是有什麼適合的負光阻可以推薦一下，
因為實驗室沒幾人有相關經驗，沒人可以問，拜託大家了
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青 ╱￣￣＼ 黃 ∕￣￣￣﹨ 赤 _MARINE_
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