作者dsd (破碎虛空)
看板NEMS
標題[問題] PDMS脫模問題?
時間Fri May 4 16:06:23 2012
目前使用PDMS174 10:1 翻SU8 微洞陣列,直徑20um,深度40um可以翻出,100um則會將
PDMS微柱扯斷。翻模方法為將SU8上製作teflon抗沾黏層。不知是否有更好之脫模劑或是
用HPDMS是否較易成功?調整A:B劑之比例不知是否可以改變PDMS之硬度?
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◆ From: 140.112.19.129
推 s75287:有人討論過 深寬比最佳翻模大約是3:1 超過就有一定失敗機率 05/04 21:03
推 Madao0149: 我也想知道PDMS的硬度是否對翻印有一定程度影響? 05/14 17:34