→ Jing602:之前塗過S1813四層 單層1.3um四層才不到2um 05/18 14:50
→ Jing602:建議直接換光阻比較快 05/18 14:51
大家好，又來請教一下
最近在測試多層s1818
基板是Si
參數分為2次、3次、4次的塗佈
我用的是2000 rpm，軟烤90度3分鐘
每一次的做法都相同，僅塗一次HMDS在基板上
以先前的經驗，1層的厚度約2um
然而我發現光阻厚度不是一次一次壘加上去
經過4次塗佈，厚度也不超過4um
老師對這個結果很不以為然
他認為厚度應該會更厚
請問是因為我烘烤的程度不夠
還是光阻與光阻之間的附著力本來就不好呢?
謝謝!
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