推 Jeffch:通常是溫度關係，有些人會傾向用有cooling holder的設備 05/19 05:25
→ Jeffch:否則就是要調整sputter的參數 05/19 05:26
→ magicmike:多謝 05/21 00:51
JSR 126N光阻上濺鍍Cu有龜裂現象
濺鍍功率50W Ar 35sccm
濺鍍完成時沒看到有龜裂現象
但是在做完第二層光組(JSR 126N)時
軟烤的時候發現底部PR有龜裂現象
原因不明
單層銅濺鍍在Si上都不會
有人可以幫我解答或遇過嗎?
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 123.194.137.9