推 fionC:4吋的BOW是-20~30um 這個方法中間圖形轉印不上去的吧... 06/20 22:30
→ bank00177:那請問F大 有沒有其他方式可以讓中間的圖案能轉印過去? 06/24 20:59
想請問版上的各位
此實驗室利用反向壓印，在PDMS上塗佈光阻後，藉由壓印機壓印PDMS，
但我的圖案沒有辦法全部轉印上去。
如果壓在4吋的藍寶石基板上，脫模後外圍的圖案都能完全轉印，
但只有中間的圖案無法轉印。
接著我有試過用熱壓的方式，脫模後卻變成中間有一條一條的痕跡，
而外圍的圖案一樣能轉印過去。而PDMS中間卻沒有殘留光阻。
我用OM去觀察一條一條是甚麼，觀察出來感覺我的線寬只是比較小，
卻想不出比較具體的原因。
因此在這想問問大家有沒有甚麼想法?或覺得問題出在哪裏?
這問題困擾了很久，謝謝。
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