[問題] SU-8的製程問題求救(10um)(SU-8 2010)

[alfudimas (開始拼畢業!!)]

我最近在做SU-8，遇到一些問題


先說一下我的實驗大概內容

我在做梳狀結構  也就是一根一根長方形的beam (或稱finger)

長度95um 寬度5um 高度10um

beam和beam之間的gap是2um和3um兩種設計

我是使用過期四年(但保存方法還算良好)的 SU-8 2010


目前遇到的問題是

(1)用原廠的datasheet內的總能量去曝光

gap會低於原設計的2um和3um (比對結果認為是過曝)

降低曝光時間後，gap有增加，但附著度變差，甚至顯影時會脫落

(2)且顯影時，會發生本來附著好好的

但因顯影時間過久(datasheet的顯影時間3min)，我又增加2~3min以上)

圖案因而脫落，與您所說的只要cross-linked，顯影很久都不會脫落的結果不同

不知道是不是因為您的圖案面積比我的大很多??

(3)3um的設計，除了gap會縮小到2.5um左右以外，圖案大致上成功

但2um的設計，gap會縮小到1.5um左右以外，

gap之間到目前為止，都無法成功顯乾淨。


我的SU-8製程流程

旋500轉30秒  3000轉40秒

軟烤90度 3分鐘

曝光總能量60~140mJ都有(曝光機37mW/s)

曝後烤90度 4分鐘

顯影3分 4分 6分 7分 都有

IPA 10~30秒

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佛言．人有二十難：
『貧窮布施難．豪貴學道難．棄命必死難．得睹佛經難．生值佛世難．
  忍色忍欲難．見好不求難．被辱不瞋難．有劫不臨難．觸事無心難．
  廣學博究難．除滅我慢難．不輕未學難．心行平等難．不說是非難．
  會善知識難．見性學道難．隨化度人難．睹境不動難．善解方便難．』
                                                佛說四十二章經(第十二章)

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◆ From: 140.113.150.9
推 SkyLark2001:SU-8 datasheet不是建議軟烤跟鋪後烤都要95 度C嗎?
→ SkyLark2001:而且若你hotplate上面有鋪鋁箔，實際溫度會更低
推 jam46:而且不是65/95兩階段烤嗎？
推 minitai0616:要分兩階段烤 直接95 寬度和厚度會縮一點點
→ minitai0616:鋁箔拿掉 盡量放在hotplate中間 放周圍溫度會有落差
推 s75287:曝光機的contact模式選擇 vacuum contact....
推 s75287:誤差0.5 um 是合理的 簡易玻璃光罩製程誤差就是0.5um....