[問題] 請推薦最好做lift-off的正型光阻

[Rappy ()]

請問各位板友有沒有推薦容易lift-off且容易以O2 plasma去除的"正型光阻"？？

因為實驗室最近在嘗試製作小線寬的電晶體

在幾十奈米的線寬下  試片本身禁不起超音波震盪或是用刷的來做lift-off

之前使用的AZ-5214做出來的效果不是很滿意

所以來請問看看大家有沒有建議的光阻

謝謝!!




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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 1.169.167.45
推 pttresident:IEEE Trans. Electron Devices vol. 52  p. 1874
→ pttresident:參考一下？