→ jam46:看光阻, 來源嘛....原廠網頁找找看, 不然就問問看業務 09/06 22:50
→ kevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都沒講到這些東 09/07 19:03
→ kevinho0603:我用的是AZ4620 但我看他的DATASHEEP都沒講到這些東西 09/07 19:04
→ madmoon:你網路上很多曝光參數吧??就算找不到廠商的,碩論也很多啊. 09/10 15:23
請問各位大大
小弟第一次接觸MEMS
想請問一個可能大家會覺得很蠢的問題
請問
應該大家都知道這公式
曝光秒數=曝光劑量(mJ/cm2)/照度(mW/cm2)
照度用照度機量測對吧
我想知道曝光劑量怎麼知道的
是要看光阻?還是機台?還是用算的??
不然我沒辦法知道要曝光多久啊.....
請位大大教教我
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 163.13.136.153