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另外要說的是
在台灣都稱AZ4620
但他原名是AZ-P4620, 是AZ這家公司 "P4000"系列中最受歡迎最廣泛使用的一支厚光阻
所以你若是打az4620, 比較較不容易查到原廠的第一手資料。
http://www.clean.cise.columbia.edu/process/P4000vfr1.pdf
另外想說的就是這類曝光劑量就跟厚度轉速比, 軟硬烤溫度時間表等等是一支光阻中最
基本最重要的資訊，若你迅速瞄一眼, 所看的data sheet沒這種資料表是你多半看到了
Material Safety Data Sheet (MSDS) 了
※ 引述《kevinho0603 (LockerWei)》之銘言：
: 請問各位大大
: 小弟第一次接觸MEMS
: 想請問一個可能大家會覺得很蠢的問題
: 請問
: 應該大家都知道這公式
: 曝光秒數=曝光劑量(mJ/cm2)/照度(mW/cm2)
: 照度用照度機量測對吧
: 我想知道曝光劑量怎麼知道的
: 是要看光阻?還是機台?還是用算的??
: 不然我沒辦法知道要曝光多久啊.....
: 請位大大教教我
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本球隊一切依法行政，謝謝指教。
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