推 jeffdon2:1.會側向蝕刻 2.背面用耐熱膠帶完全貼住就可以擋了 09/25 11:21
→ ak43gh7py:謝謝喔!~ 09/25 14:50
→ ak43gh7py:想請問j大那邊有沒有boe蝕刻玻璃的速率參數? 09/25 15:55
推 jeffdon2:找BOE蝕刻SiO2的速率就是了，可能略有差異 09/25 16:30
最近打算用BOE蝕刻載玻片，以做出所要的圖案(正面用AZ4620當作阻檔層)，
請問一下，BOE會側向蝕刻載玻片嗎?sample放進去BOE溶液中，背面不就也被蝕刻了，
這有沒有什麼解決方式?謝謝大家!~
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