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最近需要做這件事,我需要把ITO薄膜做出粗糙度, 像是大陸桂林那種石灰岩地形,一根一根的, 但是濕蝕刻的方是越簡單越好,不要碰黃光, 請問有推薦的碩論有實驗步驟可以參考嗎? 現在有點無頭蒼蠅,不知如何是好, 咪聽也快開天窗了。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.125.31.215
panzerfausty:濕蝕刻不清楚,倒是可以去借一下H2O plasma(microwave 10/22 21:32
panzerfausty:2.4GHz)~就一般stripping用的H2O plasma,效果強大,只 10/22 21:34
panzerfausty:是要小心,時間不能長,打久就不是桂林,是下龍灣了! 10/22 21:35