[問題] PDMS打氧電漿

[wallace1234 (TACO CHEN)]

大家好 小弟最近在做微流道

最近用氧電漿bonding PDMS在載玻片上

但都bond不好

想請問如果氧電漿瓦數開太高或打太久

是不是對PDMS不好?

聽學姐說打太高瓦數會使PDMS變硬

請問原理是為什麼?

想請教一下版上高人

謝謝大家。

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.12.27
推 jeffdon2:在打氧電漿之前請先注意玻璃與PDMS的表面清潔，用3M膠帶
→ jeffdon2:將微塵黏乾淨再打，另外玻璃與PDMS都要打，黏貼效果較好
→ jeffdon2:一般瓦數不會高於30w，而且真空也不能太低，有可能會把氧
→ jeffdon2:抽走而改質不完全，時間大多打三分鐘就夠了
→ wallace1234:我看paper有打90或100W  真囧= =
→ wallace1234:感謝大大!
推 s75287:功率高 通入空氣多 打的時間要越短....我用 70W打十秒就夠
推 s75287:有paper探討 表面改質太多反而會造成binding 效果不佳...
→ wallace1234:感謝樓上講解~ 那我的確打太久了...