[問題] 蒸鍍相關問題

[liliihana (花仔*)]

目前正在做lift-off製程

玻璃有利用丙酮，酒精，異丙醇，DI水，烤乾等清洗過

先用黃光做完結構之後(最小線寬10um)，再蒸鍍Cr、Au或Ti、Au

光阻是用AZ1518

請問蒸鍍之後需要擱置一段時間才能浸泡丙酮嗎?

我一泡入丙酮整片金就脫落了...@@

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◆ From: 140.120.106.184
推 Ice98:Cr/Au厚度?
→ liliihana:Cr:40nm   Au:50nm
推 Jinuse:顯影沒顯乾淨也會有類似結果唷
推 Ice98:唯一想得到的也是顯影不乾淨
推 Mariano42:可以的話 加一層Ta 會附著好多
推 yasuhiro:推顯影不乾淨
→ yasuhiro:用負光阻做做看 也許就成功了
→ conery:顯影沒有顯乾淨