推 jeffdon2:當然會啊，市售的Ti蝕刻液成分就有HF 03/17 20:33
→ jeffdon2:如果蝕刻過程中沒有加溫的話，Ti還可以撐比較久 03/17 20:34
→ jeffdon2:如果有加溫只會掉更快 03/17 20:36
推 bbdd203:原PO私信我 我可以給你濕蝕刻萬用表 但是禮拜一以後 03/31 03:32
→ bbdd203:才能給 我才會在實驗室XD 03/31 03:32
最近小第實驗上會使用到Wet etch 的東西
鍍好的Ti-5 + Au-70nm
在泡入BOE 時, 金屬會飄走~~
網路怎樣找都沒有很多這方向資料..
BOE 會吃 Ti 嗎??
希望有經驗的同學能幫我
Thanks
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