[問題] PDMS翻膜線寬180nm的光柵形結構

[tengyuan (tengyuan)]

小弟以爬過文

但在實際操作卻依舊無法成功

我的pattern是線寬180nm，間距180nm的光柵型結構在矽基板上，面積600um x 600um

有預SEM看過矽基板上pattern的結構很完整

也有看到繞射現象

翻膜前我有在矽基板上蒸鍍一層脫膜劑

翻完後用OM看PDMS，有看到那方形的pattern

但是在SEM下卻找不到

我不知道這樣是否有翻到

我的做法是

先在矽基板上蒸鍍脫膜劑後，將配好、抽氣好的PDMS(A劑:B劑=10:1)到在矽基板上，
在之後繼續放在pump裡面抽，想說這樣會不會計較容易填滿凹槽且順便將PDMS內的
空氣再抽出，大概約1~2小時

之後在放到加熱平台上烤約70度，烤到硬化約2小時左右

之後用手剝開將矽基板跟PDMS分離

請問大大我該怎麼改善?

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◆ From: 140.117.32.54
推 Jeffch:深度是多少?
推 xneptunex:用正己烷稀釋PDMS看看
→ tengyuan:深度沒量過，有用AFM量過但不準，凹下去的部分變尖的
→ tengyuan:有拍過SEM看正面，感覺應該是接近方波狀，所以才覺得AFM
→ tengyuan:不準，甲苯可以取代正己烷稀釋嗎??
→ tengyuan:因為樣品只有一塊，有非接觸可量出深度的儀器嗎?
→ tengyuan:我們學校有Alpha-Step，他解析度算高且是非接觸的嗎?
→ tengyuan:請問一下，如果我在基板上打了氧電漿和上脫膜劑，是否可
→ tengyuan:以增加成功率?
推 s75287:應該要切開看側面...y
推 s75287:Alpha-Step 是接觸式的 應該伸不進去你的孔洞
推 s75287:脫模劑可能要揮發式的silane才行 ...
推 s75287:但是我覺得流不進去是裡面卡空氣的關係....
推 s75287:稀釋+抽真空才是王道...
→ tengyuan:讓pdms自然固化是不是比用烘烤來的好?
推 s75287:感覺還是有一點差...說不出來的感覺...自己體會一下XD
→ tengyuan:s大，你就得用烤的會比自然固化來的好?
→ tengyuan:稀釋的矽油是PMX 200-50CS嗎?我向橋越問的