推 wade0222:至少要比軟烤溫度高和久 12/03 17:47
推 Ice98:要看後面接啥製程 12/03 23:28
→ kevinho0603:如果我之後是要打ICP呢? 12/05 15:24
→ SkyLark2001:看你DRIE要多久。不一定要比softbake溫度高或久 12/05 16:08
請位各位大大
硬烤的溫度和時間是以什麼為依據呢?
如果我AZ4620厚度 大約在6~7um
軟烤 95度C 5分鐘
硬烤的溫度和時間要為多少呢?
請大大們給我點建議，謝謝。
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