[問題] SU-8 50 內縮

[nasa01 (123)]

搜尋了一下

243這篇 有提到不易附著

不易附著基本上SKY大說泡BOE可以改善

想問一下

今天製作的5片 是新的wafer

丙酮清洗完後 泡BOE 30 秒

然後DI water清洗後烤乾

塗布 SU8-50  (我是用800轉~做出來大概是125um)

但塗布完之後..軟烤五分鐘就開始內縮了 (先65度烤10分鐘)

另外 軟烤當下看會皺皺的? (有人也會嗎?)



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※ 編輯: nasa01 (203.64.97.123), 05/20/2014 18:32:25
推 SkyLark2001:我之前遇過，不清楚導致原因，同一匹處理方式一樣的
→ SkyLark2001:wafer有些會發生有些不會，所以只能憑運氣 幸好我發
→ SkyLark2001:生的機率不大，遇到後洗掉重塗也就勉強過得去了