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這幾天購買靶材, 想買N或P -Si 靶, 規格濃度要多少, 或者阻值約為多少, 可是很多業務員都說沒有在分濃度阻值, 只有跟我說純度多少而已, 請問一下, 是我問法問錯了嗎? 謝謝。 -- Sent from my Android -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.214.87.255 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1417071665.A.861.html
SkyLark2001: 你要問的是基板不是靶材 11/27 16:40
az200522: !!! 11/27 17:23
az200522: 基板?我是要裝在濺鍍機裡的。 11/27 17:23
dandanboy234: 誰說沒有Si靶材的阿 11/27 21:24
nevinyrrals: sputter打出來的膜跟你靶材裡的成分比例不一定一致 11/28 19:59