推 shonyu:開盤啦！ 12/20 14:21
推 befchen:開盤啦+1 12/20 14:25
Plasma Generator
應用於半導體機台"清洗","蝕刻"(不知對不對)會使用到這類的設備,
這種機台主要由:
DC => power supply => AC => Matching => Plasma
不知有沒有先進做過類似的研究或看過相關的文獻,可以分享心得!
謝謝!
FTP 網站上有一篇相關的介紹 /plasma
提供個為參考參考!
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