※ 引述《d907904 (<期待明年能畢業>)》之銘言：
: Plasma Generator
: 應用於半導體機台"清洗","蝕刻"(不知對不對)會使用到這類的設備,
: 這種機台主要由:
: DC => power supply => AC => Matching => Plasma
: 不知有沒有先進做過類似的研究或看過相關的文獻,可以分享心得!
: 謝謝!
: FTP 網站上有一篇相關的介紹 /plasma
: 提供個為參考參考!
目前Plasma Generator的power supply
的切換頻率有400kHZ or 2MHz 兩種........
很高吧!
在這麼高工作頻率下, 如何做 soft-switching, transformer呢???!!
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