[學術]12吋晶圓承載介面 (Load Port)

[kmonji (馨)]

你好

我是台灣大學機械工程所李老師的學生

想請教你們系上老師或實驗室的研究是否曾經有使用過

12吋晶圓承載介面 (Load Port)

此設備大多用於晶圓廠無塵室內

如圖 http://www.csun.com.tw/psti/b_fpd/fpd-02-11.html

若設備為合作的廠商提供、實驗室財產或另有其管道

請多幫忙給與消息

目前研究急需此設備，麻煩大家的告知

謝謝你


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