※ [本文轉錄自 MSELAB 看板]
作者: husan612 (基金讓我50歲退休) 看板: MSELAB
標題: [問題] 鋁薄膜的應力應變圖vs不同溫度下
時間: Tue Jul 18 21:35:22 2006
主要是用在微機電感測器中的鋁導線
是CVD沉積出來 所以純度很高
且不會加銅的data值
(電子遷移效應太小)
有人看過或是手上有data嗎?
或是在哪篇paper journal 中有看到過?
就是應力應變圖vs不同溫度(很純的鋁膜)
我找了好久
愈找愈灰心
覺得自己很沒天份 唉
由於只是要找值跑模擬用
覺得直接問這領域的人比較準確
希望大家幫幫我
謝謝
信箱: dididada100@yahoo.com.tw
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