sputter degas的方法。

[foolshinee (foolshinee)]

抽完真空後
開filment 將L改到數字 ex:-6
按右邊的 degas
觀察黑線 會先慢慢上升 再慢慢下降
當下降到停止不會再動時 按掉Degas
此時的壓力才是真的真空壓力

另外
濺鍍時 即power打開時
盡量不要開filment
因為會汙染汞燈 造成真空壓力變差

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