黃建章的學生說
他們烤光阻不會烤到30分鐘
大概只烤10分鐘......(我可能嘗試烤15分鐘或更少).......
另外他們的mesa和n-type都很薄..只有0.x micro....
至於HMDS: 顯影液會把它洗掉.....
對他們來說 它只是個黏著劑 不是光阻會不會焦掉的關鍵
還有他說他們泡完丙酮之後會再去舊無塵室打O2(專門吃光阻的)
他說他星期一要教我....
我想順道把上次沒有去除光阻的帶去打...說不定還有救.....
不過那些sample呢?
另外
他說他們以前如果要吃mesa 會用PECVD 打一層SiO2
只是現在因為比較薄 所以只用光阻擋
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