→ cleverjalin:不該繼續這個標題的 我發現這頁我的名字出現五次 04/21 00:11
※ 編輯: cleverjalin 來自: 140.112.233.48 (04/21 00:41)
※ 引述《foolshinee (foolshinee)》之銘言：
: 黃建章的學生說
: 他們烤光阻不會烤到30分鐘
: 大概只烤10分鐘......(我可能嘗試烤15分鐘或更少).......
: 另外他們的mesa和n-type都很薄..只有0.x micro....
: 至於HMDS: 顯影液會把它洗掉.....
: 對他們來說 它只是個黏著劑 不是光阻會不會焦掉的關鍵
: 還有他說他們泡完丙酮之後會再去舊無塵室打O2(專門吃光阻的)
半導體製成技術導論(綠皮那本)
page.337有說用氧電漿做光阻剝除耶
宏哥 請問一下ICPRIE能做這個嗎？
: 他說他星期一要教我....
什麼時候 我也要學一下
: 我想順道把上次沒有去除光阻的帶去打...說不定還有救.....
: 不過那些sample呢?
應該都在抽屜裡
最後一次的1.2mesa被切的滿碎的
還是連懷疑發光層不見的通通試試看
: 另外
: 他說他們以前如果要吃mesa 會用PECVD 打一層SiO2
: 只是現在因為比較薄 所以只用光阻擋
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