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※ [本文轉錄自 Tech_Job 看板] 作者: schindlerr (wake up) 看板: Tech_Job 標題: [問題] 台積電主管面試的問題 時間: Fri Jun 23 01:46:41 2006 去台積電面試 他問了ㄧ個專業問題 我臨時想不到怎麼回答,有點難過 到現在還是不知道 有人能幫我解答嗎 問題是: 在Si substrate 上通氧氣,使Si表面氧化形成SiO2 他問說 要怎樣掌握SiO2的厚度,當SiO2厚度非常薄的時候 有什麼方法可以間接算出氧化層的厚度嗎 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 211.74.53.87
omygoodness:在相同溫度下..先長一次較厚的SiO2.. 06/23 02:38
mmx9797:我只想到橢圓儀 06/23 09:29
denzel520:700 degree C, 5 min...about 2.5 nm...my experiment 06/23 12:59
dolph:帶入電容值的計算公式好像可以 06/23 14:18
EatBanana:氣壓、流率、溫度影響厚度,對三變因作厚度校正曲線 06/23 14:52
EatBanana:橢圓儀、顯微鏡或利用光學與電性分析得厚度也是可以的 06/23 14:56
manest:靠夭.............這是個連他都沒把握的問題 06/30 23:14
manest:他說間接 那就外插吧 有些儀器quantox 可間接量測 06/30 23:14
-- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.229.105 ※ 編輯: foolshinee 來自: 140.112.229.105 (07/13 02:01)
thin:對呀間接是多間接?XD 怎麼感覺下面推文都鄉民 07/14 02:39