推 Heracles:好難得看到+0認真回答而不嘴泡的 05/23 23:18
推 thin:我完全建議m這篇 05/23 23:54
推 iven:推不嘴砲.... 05/24 07:16
推 momoSUM:認真的+0 ! 05/24 08:20
→ cleverjalin:為什麼看到推文 一點都沒有高興的感覺@@ 05/24 10:14
※ 引述《bestjack (qq)》之銘言：
: 1.有人知道使用sputter時,chamber內溫度order大概多少?
有加熱基板的情況，溫度就是我們自己設定囉!
沒加熱的話，用170W的功率鍍半個小時大約到50度C。
: 2.請問玻璃基板是否只能用sputter鍍金屬,若用thermal evaporator是否玻璃會受不了高溫?
熱蒸鍍是用電流加熱鎢舟使鎢舟上的金屬熔化，
沒有直接對基板加熱，基板溫度不會很高。
: 3.為什麼450的e-gun使用時不用加液態氮,但使用sputter要加液態氮?
不知道耶！可是北微的Sputter也不用加液態氮。
: 麻煩知道的回覆一下,thanks
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