作者bestjack (qq)
看板NTUEOE_R306A
標題關於buffer oxide
時間Thu Jul 5 12:46:55 2007
很多元件都是在Si wafer上長一層buffer oxide,再進行後續的process,請問有沒有人知
道這層oxide有何用途?
感謝各位的回答
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.7.59
推 kerea:去查書~~ 07/06 00:09
推 thin:我覺得應該有很多不同功用 07/07 21:27
→ thin:而且位在前段製程或後段製程應該目的也稍有不同 07/07 21:27
→ thin:還是查一下網路或書比較好吧XD 我們這邊沒有專家 07/07 21:27