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很多元件都是在Si wafer上長一層buffer oxide,再進行後續的process,請問有沒有人知 道這層oxide有何用途? 感謝各位的回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.7.59
kerea:去查書~~ 07/06 00:09
thin:我覺得應該有很多不同功用 07/07 21:27
thin:而且位在前段製程或後段製程應該目的也稍有不同 07/07 21:27
thin:還是查一下網路或書比較好吧XD 我們這邊沒有專家 07/07 21:27