作者momoSUM (只能等待)
看板NTUEOE_R306A
標題Re: [元件] MV可開隔夜
時間Tue Dec 8 14:19:02 2009
小弟再補充一點
遇到停電turbo會停止運轉然後自動vent氣進去
但是復電之後turbo是否會"自動"開始運轉?
如果不會那一樣很危險 需要有人開啟
原因是 機械幫浦在復電之後會自動開啟 (因為開關一直在on的位置呀~)
這時候turbo若沒有在抽 油氣一樣會回漏
又或著機械幫浦一直抽大氣...不久就會壽終正寢
所以如果凌晨停電之後又復電
turbo關了 mechanical 卻沒關
到了早上chamber一樣會油滋滋
更慘一點機械幫浦會掛掉
※ 引述《wen826 (無可救藥)》之銘言:
: 大家好~
: 我這兩天問過高敦的工程師也和老師討論後,
: 結論是MV也可以開過夜了。
: 這次主要確認的事項是,
: Turbo後端管路和機械幫浦間有一個自動洩氣閥,
: 當機械幫浦的電源關閉時,就會自動讓大氣洩到管路裡。
: 這樣主要是避免機械幫浦中的油氣因為氣壓差回流到turbo及腔體中。
: 因此現在不做實驗時,
: 就按照平常要做實驗的抽氣流程,
: 依序粗抽、細抽,然後就維持讓turbo抽腔體。
: 如果想要前一天晚上load sample,
: 也可以抽到隔天早上再做。
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◆ From: 140.112.175.55
推 wen826:感謝真空專家mo哥的建議~ 不過我們的機械幫浦開關還有一道 12/08 22:44
推 wen826:復電後不知道會不會自動開啟 我下次去試試看~ 12/08 22:44