[元件] 膜厚儀設定

[wen826 (無可救藥)]

今天早上的實驗發生了一個小小的錯誤，
導致整個實驗過程都浪費掉了，
因為不確定是不是每個人都知道這個膜厚儀設定上的可怕陷阱，
所以來分享一下我慘痛的經驗。


要設定density及Z-ratio時，
大家應該都還記得密碼 2-2-4，
但是進到這個畫面之後還有個小地方要注意:

 螢幕最上方有一排字 DEPOSITION PROGRAM No. 1

 一定要當反白處顯示為 1時設定的density和Z-ratio才有效，
 因為我們鍍膜的時候預設就是Layer1 PROG01 (可以在看鍍率的畫面看到)
 所以鍍率和累積厚度會以No. 1的設定值為準。


==========  以下是破案過程碎碎唸，可以跳過  ==========

在此之前我都不知道這件事，
也都沒有跟和我學鍍膜的學弟妹們提到.....

所以不確定是不是已經有人中了這個陷阱還不知道了..Orz
我今天設定的時候是顯示 No. 12
很可能是不小心被調到了，大家也沒注意到。
我有發現是12，但是不知道會有影響，所以不以為意...T_T

量ZV的時候發現轉折處位置很奇怪，意味著Alq3的厚度跑掉了，
但是當時以為是坩鍋被動到，所以ratio跑了很多。
不過仔細看Z值的比例，又發現NPB和Alq3的厚度比並沒有差非常多，
一個坩鍋被動到不稀奇，兩個坩鍋都被動到而且還有一樣的變化趨勢就奇怪了。
兩者的變化反而比較像是NPB變成約小於兩倍，
Alq3變得約大於兩倍。

在這裡當然就做了聯想，1.5 -> 2.7 和 1.3->2.7。
可是我很確定做實驗的過程很小心一定有記得設定。
加上之前的觀察，就合理懷疑是不是設定 No 12根本沒用....

之後在下個實驗中有穩定鍍率時更改density設定，
才驗證了這點。

之後有做實驗的人就記得注意一下啦!


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.171.78
推 navstar:有看有推~
推 andy760411:希望我上次solar cell失敗是因為這原因!
→ wen826:不過我看到的時候是設鋁的  如果只鍍Al應該沒關係
推 momoSUM:andy哥哭哭
推 ohengrin:這我知道 那台很高級可以設好很多個program 我之前好像
推 ohengrin:有教過羅鴻還是誰  叫他們新手不要按錯不小心按到 @@