推 momoSUM:一姊辛苦嘍~ 02/21 16:49
※ 編輯: wen826 來自: 123.193.39.92 (02/21 22:42)
推 smallhung:一姊辛苦嘍~ 02/21 22:43
推 andy760411:要是我用口述，應該不會像你打的那麼詳細吧~ㄎㄎ 推~ 02/21 23:19
推 JGZ:學姊辛苦了~ 02/22 00:04
推 eveningtin:初抽還是粗抽 @@ 02/22 11:52
不知道會用元件chamber做實驗的人有沒有發現，
最近關FV粗抽時 Gauge C回壓很快，導致turbo pump的load燈會跟著上升。
如同之前一直提醒大家的，
turbo後端如果排氣不暢會對他造成很大的損傷。
要盡量避免GaugeC太高或者load燈上升的狀況。
因此現在建議大家粗抽的時候採取兩段式粗抽。
簡單來說，就是輪流抽FV(Turbo後端)與RV(腔體)，而不是長時間只抽腔體。
詳細步驟如下：
(從load完sample要開始粗抽時開始，此時RV關閉，FV打開，MV關閉)
1. 關緊chamber門，確定leak valve關閉。
2. 關上FV。一邊壓緊腔門，一邊慢慢地打開RV。
3. 抽氣約1分鐘，注意GaugeC讀數，勿超過3X10^-1。
4. 關閉RV，靜待30秒後，打開FV。等FV抽到低的10^-3再進行下一步驟。
5. 關閉FV，慢慢地打開RV。
6. 若GaugeC讀數不再狂升至10^-1，即可按照原先粗抽模式。
若GaugeC仍然一直上升，甚至load 燈也上升，則重複步驟4~5。
◎ 觀察發現當腔體內有一定程度真空(不需要到10^-1以下)，
即使關上FV，GaugeC回壓也不會太快。
初步懷疑是MV有少量漏氣，待檢測。
◎ 看不懂以上步驟的人請一定要來問我，
從2/28以後會隨機檢查大家粗抽情形，
若有發生不按照這樣做，而使得turbo load燈上升的情況，每次罰50元。
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※ 編輯: wen826 來自: 140.112.187.108 (02/21 15:22)