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2013/08/27完整版
<破真空>
1.確認腔體狀態：MV、RV、VV關閉，FV開啟，turbo load燈於第一格，ion pump壓力低於
4E-8 torr
按下turbo控制面板stop鍵，turbo降轉速(load燈由最右邊慢慢下降)。
2.待turbo完全降轉速後，turbo控制面板只剩橘色power燈。
關閉FV。
3.確認腔體狀態：MV、RV、VV、FV關閉，turbo控制面板只剩橘色power燈
開氮氣、VV破真空。
<抽真空>
1.確認腔體狀態：MV、RV、VV、FV關閉，turbo控制面板只剩橘色power燈
打開FV。
2.待gauge A降至5E-2 torr以下時，按下turbo控制面板start鍵啟動turbo。
->開始實驗
<使用ion pump>
1.確認腔體狀態：
MV、RV、VV關閉，FV開啟，turbo load燈於第一格，guage B低於2E-5 torr，ion pump
壓力的order在-9
緩緩開啟MV，此時ion pump壓力約在3~5E-8 torr。
->開始實驗
2.實驗完畢後，關閉MV。
(Note)
1.ion pump若沒有在使用，請隨時保持MV在關閉的狀態，以保護ion pump。
2.在破真空的靜置15分鐘之前，請記得務必將MV關閉，使ion pump壓力低一點再破真空，
讓ion pump的傷害降低。
3.破真空前務必注意ion pump壓力要低於4E-8 torr。開啟VV注氮氣時，氮氣注入壓力不得
超過10 psi(紅色刻度)，防止一次太大量的氮氣可能會逸入gate valve。待破真空後，
ion pump壓力會來到1~3E-7 torr，請注意腔體不要在大氣環境下太久。
P.S. shutter已修復，若有問題請聯絡我，盡量避免用手去轉動。
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