[研究] 誰對Lithography有興趣?

[gwliao (gwliao)]

在這個暑假，我想找時間開個讀書會，講關於這方面的東西。
範圍不只是EDA相關的，所有背景知識都會包含。
學會的人，你會感受到DFM的發展。要找對題目，就方便多了。
東西很多，絕對不是一次就可以教完。
所以可能會用掉幾次時間。
有興趣的人，請跟我說一下哪些時間有空。(推文 or e-mail)

7/17~19, 我回屏東，不能上網。
我周一就才會處理讀書會的事。

注意: 沒上過VLSI導論的話，會聽的生不如死。



預計內容會有:
   Scaling equations
   Aerial imaging
   Resist imaging*
   E-D Forest
   Signamization
   Alignment and overlay*
   Proximity printing systems*
   Projection printing systems (目前使用的系統)
   Phase-shifting mask (PSM)
   Off-axis illumination (OAI)
   Optical proximity correction (OPC)
   Immersion lithography
   EUV lithography
   Double patterning
   E-beam lithography*

  *: 表示可能不講。
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還有時間的話，我會講一些粗淺的Parallel programming和ILP/NLP。

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.233.31
※ 編輯: gwliao          來自: 140.112.233.31       (07/16 17:23)
推 bluetai:畢業生可以參加嗎? XD
推 webberlucky7:我要參加
→ gwliao:不論畢業在學, 只要想參加，都可以~~~
推 Crazying:我我我（如果我還在的話  Orz）
推 kaie819:+1 我也想參加~
推 Iamia:我也要~
推 supermark:可以錄影或遠距教學嗎? XD
推 kraistlin:盡量參加~ 借教室可以找我 :p
推 hoolank:+1
推 yuko703:(舉手)
推 bluenvoy:+1
推 aknow:+1
推 sion0814:新生可以+1嗎
推 afterforever:+1
推 yellowfishie:+1
推 arious:遠距教學+1 ^^
推 Donnie:錄影+1  ^^