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在“第20屆微機器/MEMS展”上，使用MEMS掃描器的投影機展出。此次展出的產品是松
下電工的鐳射掃描器和台灣廠商的超小型投影機。
松下電工在該公司的晶圓級封裝（WLP）技術演示中，展出了2軸MEMS掃描器。用2塊
玻璃底板真空封裝了利用該公司的WLP在矽底板上形成的 MEMS鏡子。通過將鏡子封閉在真
空中，能夠減小驅動時的空氣阻力，增大振幅（鏡子的偏角）。另外，用很小的驅動力便
可晃動鏡子，促動器採用的是靜電型。一般情況下，MEMS鏡掃描時多採用驅動力大的電磁
型或壓電型。此次演示中展出了“虛擬開關”。利用鐳射在面板上顯示表示風扇、照明及
揚聲器的圖標，用戶觸摸這些圖標便可控制各種機器的電源。
台灣廠商中展出超小型投影機的是小型致動器廠商Technohands。此次展示了台灣
OPUS Microsystems的MEMS掃描器和使用該掃描器的超小型投影機。Technohands使用3原
色鐳射光源顯示了彩色視訊。其中紅、藍鐳射器採用的是台灣廠商製造的直接振盪型產品
。至於綠色鐳射光源，Technohands未公佈相關資訊。光源亮度為10lm。（記者：三宅 常
之）
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