[問題] 請問有沒有板大知道 12吋wafer C O檢測

[naohcl (自由的左腳)]

請問有沒有板大知道 如何檢測12吋wafer上面的C O含量

謝謝


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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.32.85
推 alturiak:XPS 不過不知道你是想看表面吸附還是內含雜質
→ naohcl:請問哪裡有可以使用 謝謝
推 whc760123:業界來這裡是問不到的
→ Tantalus:閎康
推 hockeyplayer:XPS看表面O ,C並不準確，即使高真空依然會有O,C 吸附
→ hockeyplayer:如果看wafer內層可透過ion etching後再檢測
推 hockeyplayer:學界113，114材料系貴儀都有，業界閎康