推 sputtering:用線上的XRD去打 08/19 10:49
→ sputtering:印象中晶圓廠的晶圓都是用旋乾的 如果有一大particle 08/19 10:50
→ sputtering:擋住 造成旋乾時的水分岔 留下水漬就很有可能 08/19 10:52
→ sputtering:不過我已離開那斯太久早就忘光光XDXD 08/19 10:54
推 fola:呵呵 從事半導體工作的人就是要解決這些雞毛蒜皮可是卻會造 08/19 11:19
→ fola:會造成重大影響的事 08/19 11:24
→ fauna:水中的雜質吧 08/19 11:51
→ fauna:用吹的是把水連雜質一起吹走 08/19 11:51
推 sputtering:一班處理晶圓表面除了用水衝/超音波震動/用小刷子刷 08/19 11:56
→ sputtering:還有很多方法 只不過要討論適用情況 08/19 12:02
→ wonds:水中的雜質和空氣中的微粒 一般普通無塵室的微粒還是很多 08/31 23:40