[領域] (題目相關領域)
半導體工程
[來源] (課本習題、考古題、參考書...)
考古題
[題目]
一鋁／銅／矽結構之樣品，其電阻率為3.2u ohm-cm
(1)若鋁／銅薄膜厚度為１um ..求其片電阻為何？？
(2)若鋁／銅薄膜製成一長５００um..寬１０um的線，則其電阻？？
(3)若此鋁／銅薄膜是製作於１um厚之SiO2上，此線對矽基板之電容？？
[瓶頸] (寫寫自己的想法，方便大家為你解答)
（1)Ｒ=片電阻＊d...但是不知道Ａ跟Ｌ沒辦法求Ｒ...
（2) A=10*10 ???
(3) SiO2的介電係數＝3.9*8.85*10^(-14) (cm)??
謝謝～～
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◆ From: 210.69.13.1