[問題] 有沒有人可以證明157nm雷射光會在Si <100> low yield

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有沒有人可以證明 157nm 雷射光在 Si <100> 會產生 low yield?

我想應該是用固態物理吧
但是我的固態晶格常數那邊蠻爛的
然後可能就是會干射或繞射

我只知道我是從 德州儀器(Texas Instrument) 發表的論文看到的他們實驗結果

論文名稱沒記錯應該是 Beyond 90 nm

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