[問題] PECVD

[LScouple (找到出路)]

想請問一下

有人知道在台北的大學,或是台大裡面

有哪個實驗室或是哪裡有PECVD(可以鍍a-si)

謝謝

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.112.231.218
推 jovibon:台大電機二館打350 馬上有人幫你服務
→ jovibon:不過只能長SiO2和SiNx