[問題] wafer clean

[landau0426 (事事順心)]

想請問ㄧ下

silicon wafer經過標準程序的清洗

丙酮...甲醇...DI...硫酸+雙氧水(3:1)...DI...BOE

要如何確認有清洗乾淨

聽有人說好像滴水上去,看看會不會殘留

有什麼方法可以確定乾淨

或是還有什麼標準清洗程序

謝謝

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