作者missing0315 (zzzz)
看板Physics
標題[問題] Al與si 歐姆接觸
時間Wed Sep 30 22:15:10 2009
想問一下
Al電極作在矽晶片上如果要形成歐姆接點的話
應該要經過退火的程序
想問一下退火的時間和溫度大概是多久
用高溫爐或是RTA是否不同
升溫速度大概要少
Al大概鍍多厚差不多
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.168.75.234
→ blus:文獻都可以查到參考 09/30 23:30
→ ccitmdl:paper會告訴你答案~~ 10/01 02:10
推 macher:= = 這要查paper吧 10/02 12:44