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想問一下 Al電極作在矽晶片上如果要形成歐姆接點的話 應該要經過退火的程序 想問一下退火的時間和溫度大概是多久 用高溫爐或是RTA是否不同 升溫速度大概要少 Al大概鍍多厚差不多 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.168.75.234
blus:文獻都可以查到參考 09/30 23:30
ccitmdl:paper會告訴你答案~~ 10/01 02:10
macher:= = 這要查paper吧 10/02 12:44