→ threedices:問NEMS版? 10/14 12:54
→ yeahbo:深10um寬0.2um鍍0.3um還希望完整包覆... 除非你的奈米線 10/14 14:28
→ yeahbo:超級稀疏... 10/14 14:29
想請問ㄧ下
我想在一個si wafer上(含10um深,寬度0.2um)奈米線結構
用sputter鍍上ZnO 300nm
有辦法完整包覆不穿破嗎?ZnO下得去奈米線的邊緣嗎?
謝謝
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