[問題] Si ohmic contact

[LScouple (找到出路)]

請問ㄧ下

如果要和p-si行成歐姆接觸的金屬

哪一種金屬是最容易的?

Pt or Al or Au 看到好像這幾種


大概熱退火的溫度和時間大概的範圍?

對不起小弟是製程新手,請多包含

謝謝

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◆ From: 140.112.102.175
→ ccitmdl:聽說有很多相關的PAPER可以看~~