推 Keelungman:用 sputter 長 Al2O3 可以請教林敏聰老師實驗室 12/09 20:40
→ Mariness:Egun不是很好 還是sputter比較ok 12/09 22:55
想請問ㄧ下這兩種材料
用E-gun去鍍的話品質會不會很差
跟sputter or sol-gel比(TiO2) 跟ALD or sputter比(Al2O3)
想再問ㄧ下一般想鍍薄薄ㄧ層Al2O3 都是用哪一種方法
ALD哪裡可以借得到(台北台大佳)
謝謝
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