[問題] ALD沉積氧化鋁

[LScouple (找到出路)]

想請問一下

台北的學校或研究單位

有ALD可以沉積氧化鋁

P.S我是想沉積一層薄薄的氧化鋁對Silicon作鈍化
如果用E-gun代替有效果嗎?

謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 114.43.157.170
推 Keelungman:先鍍 Al 再用 RF sputter Al2O3 with O2 gas 是可行的
→ CIA007:ALD是CVD製程，一次給一點點量的化學物質進去。